Desarrollo de medición RFCV para transistor ultra scaled

Abstract

En este proyecto se presenta el desarrollo de mediciones RFCV mediante el control y sincronización de equipos dentro del laboratorio de nanoelectrónica del IMNE (Instituto de Micro y Nanoelectrónica). Los equipos Sistema Caracterizador de Semiconductores (K4200 - SCS) y Analizar de Redes (EC5071c) trabajan simultáneamente controlados por una aplicación desarrollada en Python. El control se basa en estándares de comunicación IEEE – 488.2 y Ethernet. Para mediciones RFCV se usa el EC5071c a altas frecuencias mientras que el K4200 se utiliza como fuente de tensión para activar el capacitor del MOSFET. El EC5071c se encarga de calcular la matriz S (Matriz de dispersión) para finalmente mediante la aplicación realizar operaciones numéricas y calcular las capacitancias del transistor. La sincronización de los equipos es satisfactoria gracias a la programación utilizando hilos de ejecución, por lo que se puede observar ante una medición que no existe ninguna intervención entre adquisición de datos, cálculo de matriz S o preparación previa de equipos antes de hacer una medición. Para las mediciones, se debe realizar una calibración previa; sin embargo, pueden presentarse complicaciones que dependen del comportamiento del dispositivo, mala manipulación de puntas de medición o limitaciones de frecuencia con cables SMA.