Mejoramiento de Sistema de Medición RFCV para Transistores Ultra Scaled

Abstract

En el presente trabajo se analiza y depura un sistema de mediciones RFCV utilizado para la caracterización de dispositivos semiconductores. El sistema se basa en una interfaz gráfica de usuario escrita en Python 2.7 que controla simultáneamente dos equipos del laboratorio de Micro y Nano Electrónica de la USFQ. Uno es un caracterizador de semiconductores (SCS) modelo Keithley K4200 y el otro un analizador de redes (VNA) modelo Agilent E5071C ENA. Ambos equipos deben funcionar de manera sincronizada para poder obtener valores de la matriz de dispersión directamente desde el VNA. El posterior procesamiento de estos datos en la aplicación permite encontrar las relaciones entre el voltaje DC aplicado en pequeña señal y las capacitancias gate-to-all Cga y gate-to-channel Cgc. En este proyecto se trabaja sobre tres etapas del proceso. Primero, se encuentran y corrigen errores de programación y fallas en el protocolo de sincronización. Segundo, se modifica el proceso de calibración del VNA haciéndolo más confiable y eficaz. Por último, se añade una etapa de des incrustación a la aplicación que hace al proceso más completo pero que parece comprometer los resultados al utilizar el modelo en cuestión.